日本電子電鏡可對(duì)各種材料的物質(zhì)表面形貌進(jìn)行觀察，特別適用于不便進(jìn)行破壞性處理的塊狀樣品；配合能譜儀可以對(duì)各種元素進(jìn)行定性、定量分析；配合電子背散射衍射系統(tǒng)可進(jìn)行織構(gòu)、晶體取向等分析。廣泛應(yīng)用于金屬材料、無(wú)機(jī)材料、高分子材料、催化劑、潤(rùn)滑材料、地質(zhì)礦物、金屬、沙漠、生物醫(yī)學(xué)等方面。
電子顯微鏡是以電子束作光源、電磁場(chǎng)作透鏡、具有高分辨率和放大倍率的顯微鏡。電鏡通過(guò)收集、整理和分析電子與樣品相互作用產(chǎn)生的各種信息而獲得物體的形貌和結(jié)構(gòu)等。電鏡的類型也是利用電子信號(hào)的不同和成像的不同而進(jìn)行分類。主要分為透射電子顯微電鏡、掃描電子顯微電鏡、分析電子顯微鏡和高壓電子顯微鏡。
日本電子電鏡簡(jiǎn)稱掃描電鏡。掃描電鏡利用二次電子信號(hào)成像，用于觀察樣品表面形貌，圖像具有立體感。掃描電鏡的光源部分與透射電鏡相同，是由電子槍產(chǎn)生電子射線經(jīng)聚光鏡聚焦形成一束極細(xì)的光斑稱為電子探針（electron probe）。電子探針受掃描發(fā)生器控制，在樣品表面進(jìn)行逐點(diǎn)掃描，把樣品表面的原子外層的電子擊出，形成二次電子，二次電子被二次電子檢測(cè)器收集、轉(zhuǎn)換、放大、轉(zhuǎn)換到顯象管，由于顯象管的熒光屏上的畫面與樣品被電子束照射面呈嚴(yán)格同步掃描，逐點(diǎn)逐行一-一對(duì)應(yīng)，這樣就能看出樣品表面形貌。二次電子發(fā)射越多的地方，在像上相應(yīng)的點(diǎn)就越亮，反之則暗。由于二次電子產(chǎn)生的多少與電子束入射角度有關(guān)，也就是與樣品表面的起伏有關(guān)，所以熒光屏上得到的圖像反應(yīng)了樣品表面的立體形貌。
